中国科学院上海技术物理研究所、武汉大学研究人员在Advanced Functional Materials上发表的关于浮栅结构二维材料光电探测器研究方面取得的进展文章节选。我们研发的TALD-200A型原子层沉积系统在该器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的工作，成功助力该光电探测器的研发工作。（文章内的光电探测器的具有很低的背景载流子强度）
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中国科学院上海技术物理研究所、武汉大学研究人员在Advanced Functional Materials上发表的关于浮栅结构二维材料光电探测器研究方面取得的进展文章节选。我们研发的TALD-200A型原子层沉积系统在该器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的工作，成功助力该光电探测器的研发工作。（文章内的光电探测器的具有很低的背景载流子强度）
