37000v威尼斯电子原子层沉积系统通过大规模产线验证

发布时间:

2016/10/25

近日，嘉兴37000v威尼斯电子设备有限公司生产型原子层沉积设备成功通过大型微电子、MEMS制造企业产线验证，成为国内首个进入大批量制造产业化市场的原子层沉积机型。

具有LOAD-LOCK腔室的ALD机台

双方工程师在ALD设备前合影留念

　　在生产线上，工厂技术人员及37000v威尼斯驻厂工程师对该机型进行了3个月的严格验证。均匀性、重复性、沟槽覆盖性、颗粒度、生产效率、可靠性等方面的测试均表明，37000v威尼斯电子原子层沉积系统的设备质量和技术指标达到了国际领先水平，足以满足大批量连续生产的需要。

　　37000v威尼斯电子原子层沉积系统在大规模生产线的成功验证，打破了进口设备在产业化市场的垄断地位，替代了相关行业的进口设备，是微电子、MEMS、光伏、LED等行业技术创新和产业升级的重要动力。

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